Á¢Áö¹è¼± ¹× ´©ÀüÂ÷´Ü±â ¼³Ä¡·Î ´©Àü ¹× °úÀü·ù¸¦ Â÷´ÜÇϰí ÈÞÁî ±³È¯ÀÇ ¹ø°Å·Î¿òÀÌ ¾ø½À´Ï´Ù.2) ¿ÂµµÁ¦¾î´Â Digital P.I.D Controller¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© Á¤¹Ðµµ°¡ ³ô½À´Ï´Ù.3) Chamber³»ºÎ¿¡ FANÀåÂøÀ¸·Î ¿ÂµµºÐÆ÷°¡ Á¤¹ÐÇÕ´Ï´Ù.4) ÀÏÁ¤¿Âµµ¿¡¼ ÇÊ¿äÇÑ ½Ã°£¸¸À» °ÇÁ¶ ¹× ¹è¾ç ½Ãų ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.5) ³»ºÎ °üÂû¿ë À¯¸®¹®Àº °È À¯¸®·Î Á¦À۵ǾúÀ¸¸ç ¿ÜºÎ ¹®¸¸ ¿°íµµ ³»ºÎ ½Ã·á »óŸ¦ °üÂûÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.6) ºÎµå·¯¿î ¹®¿¸²°ú ´ÝÈû, ¹ÐÂø¼ºÀ» À§ÇØ µµ¾î¿¡ ¿ÏÃæÀåÄ¡°¡ µÇ¾îÀÖ½À´Ï´Ù.(½Ç¿ë½Å¾È)
450¡¿400¡¿450
500¡¿500¡¿600
500¡¿500¡¿1000
615¡¿650¡¿1040
665¡¿765¡¿1190
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